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            真空腔體氦質譜檢漏

            該檢漏方法是真空檢漏領域里不可少的一種技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空檢漏中得到了很多應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。